FFU U15 – Fan Filter Unit ULPA U15 Cho Phòng Sạch & Cleanroom Cấp Cao
Kích thước chữ
Mặc định
Lớn hơn
FFU U15 – Fan Filter Unit ULPA U15 Cho Phòng Sạch & Cleanroom Cấp Cao
FFU U15 là thiết bị Fan Filter Unit tích hợp quạt và bộ lọc ULPA cấp U15, thường được lắp trên trần phòng sạch để hút không khí từ khu vực plenum, tạo áp qua bộ lọc và cung cấp luồng khí sạch xuống khu vực cần kiểm soát.
So với các cấu hình FFU sử dụng HEPA H13 hoặc H14, FFU U15 được lựa chọn cho những ứng dụng yêu cầu hiệu suất lọc cao hơn, đặc biệt trong bán dẫn, vi điện tử, quang học chính xác, mini-environment, sản xuất linh kiện công nghệ cao và một số cleanroom cấp cao.
CÔNG TY CỔ PHẦN KỸ THUẬT VIỆT PHÁT – VIETPHAT cung cấp FFU U15 với nhiều kích thước, lưu lượng, motor AC/EC, vật liệu vỏ, phương thức seal và giải pháp điều khiển theo yêu cầu của từng dự án.
FFU U15 Là Gì?
FFU U15 là Fan Filter Unit sử dụng bộ lọc ULPA cấp U15 làm cấp lọc cuối trước khi cấp khí vào cleanroom.
Một bộ FFU U15 điển hình có thể gồm:
- Housing FFU.
- Quạt.
- Motor AC hoặc EC.
- Bộ điều khiển tốc độ.
- Bộ lọc ULPA U15.
- Lưới bảo vệ.
- Hệ thống điện.
- Cổng điều khiển hoặc truyền thông tùy cấu hình.
ULPA U15 Là Gì?
U15 là một cấp lọc thuộc nhóm ULPA – Ultra-Low Penetration Air.
ULPA U15 được sử dụng trong các hệ thống yêu cầu kiểm soát hạt nghiêm ngặt hơn nhiều cấu hình HEPA thông thường.
Khi lựa chọn U15 cần xem xét:
- Tiêu chuẩn phân loại áp dụng.
- Hiệu suất tại MPPS.
- Lưu lượng danh định.
- Chênh áp ban đầu.
- Kích thước filter.
- Phương thức seal.
- Kết quả kiểm tra riêng lẻ nếu dự án yêu cầu.
Nguyên Lý Hoạt Động Của FFU U15
- Quạt hút không khí từ plenum hoặc khu vực phía trên trần.
- Không khí đi vào housing FFU.
- Motor dẫn động quạt để tạo lưu lượng và áp suất.
- Dòng khí được đẩy qua bộ lọc ULPA U15.
- Các hạt trong không khí được giữ lại trong media lọc.
- Khí sạch được cấp xuống khu vực phòng sạch.
Cấu Tạo FFU U15
| Bộ phận | Chức năng |
|---|---|
| Housing | Bảo vệ và cố định các bộ phận bên trong |
| Quạt | Tạo lưu lượng và áp suất |
| Motor | Truyền động cho quạt |
| Bộ điều khiển | Điều chỉnh tốc độ hoặc lưu lượng |
| ULPA U15 | Lọc hạt với hiệu suất rất cao |
| Lưới bảo vệ | Bảo vệ bề mặt filter |
FFU U15 Cho Phòng Sạch
Trong hệ thống phòng sạch, FFU U15 thường được bố trí trên trần thành từng module để cung cấp khí sạch xuống khu vực sản xuất.
Ưu điểm của FFU dạng module:
- Dễ phân vùng.
- Dễ mở rộng hệ thống.
- Dễ thay đổi mật độ FFU.
- Có thể điều chỉnh từng thiết bị.
- Thuận tiện bảo trì.
- Phù hợp với nhiều cấu hình cleanroom.
FFU U15 Cho Cleanroom Cấp Cao
FFU U15 có thể được sử dụng trong những cleanroom có yêu cầu kiểm soát hạt rất cao.
Khi thiết kế cần xem xét:
- Cấp sạch mục tiêu.
- Diện tích phòng.
- Chiều cao phòng.
- Lưu lượng FFU.
- Tỷ lệ bao phủ trần.
- Hệ thống hồi khí.
- Tải nhiệt.
- Áp suất phòng.
- Yêu cầu luồng khí.
FFU U15 Cho Nhà Máy Bán Dẫn
FFU U15 bán dẫn là một trong những ứng dụng điển hình của dòng ULPA Fan Filter Unit.
Trong semiconductor cleanroom thường quan tâm đến:
- Hiệu suất lọc U15.
- Lưu lượng ổn định.
- Chênh áp filter thấp phù hợp.
- Độ rung thấp.
- Độ ồn thấp.
- Motor hiệu suất cao.
- Điều khiển tập trung.
- Khả năng giám sát trạng thái.
- Khả năng vận hành liên tục.
FFU U15 Cho Microelectronics
Trong vi điện tử, các hạt rất nhỏ có thể ảnh hưởng đến quá trình sản xuất và chất lượng linh kiện.
FFU U15 có thể được sử dụng tại:
- Cleanroom sản xuất chip.
- Mini-environment.
- Precision Assembly.
- Khu kiểm tra linh kiện.
- Khu sản xuất cảm biến.
- Khu quang học chính xác.
FFU U15 Cho Điện Tử Chính Xác
FFU U15 có thể được lựa chọn cho các khu vực điện tử có yêu cầu cao hơn cấu hình H13 hoặc H14 thông thường.
Các ứng dụng có thể gồm:
- PCB đặc biệt.
- Optical Components.
- Sensor Manufacturing.
- Precision Electronics.
- Clean Booth.
FFU U15 Cho Quang Học Chính Xác
Trong lĩnh vực quang học chính xác, ngoài cấp lọc U15 cần quan tâm thêm:
- Độ rung của quạt.
- Độ ồn.
- Độ ổn định airflow.
- Vận tốc mặt.
- Độ đồng đều luồng khí.
FFU U15 Cho Mini-Environment
Mini-environment là khu vực sạch cục bộ thường được sử dụng trong bán dẫn và sản xuất chính xác.
FFU U15 có thể giúp:
- Tạo vùng sạch cục bộ.
- Kiểm soát hạt trực tiếp tại thiết bị.
- Giảm phạm vi không gian cần kiểm soát ở cấp rất cao.
- Hỗ trợ bảo vệ quy trình nhạy cảm.
FFU U15 Cho Clean Booth
Clean Booth có thể sử dụng FFU U15 khi yêu cầu kiểm soát hạt cao hơn cấu hình HEPA thông thường.
Một hệ thống có thể gồm:
- Khung Clean Booth.
- FFU U15.
- Panel hoặc rèm.
- Hệ thống điện.
- Bộ điều khiển tốc độ.
FFU U15 Và FFU H14 Khác Nhau Như Thế Nào?
| Tiêu chí | FFU H14 | FFU U15 |
|---|---|---|
| Nhóm lọc | HEPA | ULPA |
| Cấp lọc | H14 | U15 |
| Hiệu suất | Rất cao | Cao hơn theo cấp phân loại |
| Ứng dụng | Cleanroom yêu cầu cao | Cleanroom yêu cầu rất cao |
| Chênh áp | Phụ thuộc filter | Có thể cao hơn tùy thiết kế |
Nên Chọn FFU H14 Hay U15?
Không nên mặc định U15 luôn tốt hơn H14 cho mọi hệ thống.
Cần lựa chọn theo:
- Cấp sạch.
- Tiêu chuẩn dự án.
- Yêu cầu công nghệ.
- Lưu lượng.
- Chênh áp.
- Khả năng của quạt.
- Chi phí đầu tư.
- Chi phí vận hành.
Nếu hệ thống chỉ yêu cầu H14, nâng lên U15 có thể làm tăng chênh áp và chi phí mà không mang lại lợi ích tương ứng.
FFU U15 Và FFU U16 Khác Nhau Như Thế Nào?
| Tiêu chí | U15 | U16 |
|---|---|---|
| Nhóm | ULPA | ULPA |
| Cấp lọc | U15 | U16 |
| Hiệu suất | Rất cao | Cao hơn U15 |
| Ứng dụng | Nhiều cleanroom cấp cao | Ứng dụng nghiêm ngặt hơn |
U15 Có Phải Lúc Nào Cũng Cần Thiết Không?
Không.
Cấp lọc cần được lựa chọn dựa trên yêu cầu thực tế của quy trình sản xuất.
Việc sử dụng U15 khi không cần thiết có thể:
- Tăng chênh áp.
- Tăng yêu cầu công suất quạt.
- Tăng điện năng.
- Tăng chi phí đầu tư.
- Tăng chi phí filter thay thế.
Chênh Áp ULPA U15 Trong FFU
Chênh áp là một trong những thông số quan trọng nhất khi lựa chọn FFU U15.
Chênh áp phụ thuộc vào:
- Media.
- Diện tích media.
- Cấu trúc mini-pleat.
- Chiều dày filter.
- Lưu lượng.
- Tốc độ mặt.
- Mức độ bám bụi.
Tại Sao Cần U15 Chênh Áp Thấp?
Trong cùng yêu cầu hiệu suất, filter có chênh áp phù hợp có thể giúp:
- Giảm tải cho motor.
- Duy trì airflow tốt hơn.
- Giảm điện năng tiêu thụ.
- Giảm yêu cầu tốc độ quạt.
- Hỗ trợ giảm độ ồn.
Lưu Lượng FFU U15
Lưu lượng phải được lựa chọn đồng bộ với bộ lọc ULPA U15.
Các yếu tố cần xem xét:
- Kích thước FFU.
- Diện tích mặt filter.
- Chênh áp U15.
- Vận tốc mặt.
- Cấp sạch.
- Tỷ lệ bao phủ trần.
FFU U15 Motor AC
FFU U15 có thể sử dụng motor AC tùy theo thiết kế.
Cần xem xét:
- Công suất motor.
- Điện áp.
- Khả năng điều chỉnh.
- Độ ồn.
- Hiệu suất.
FFU U15 Motor EC
FFU U15 motor EC được lựa chọn phổ biến trong nhiều hệ thống phòng sạch hiện đại.
Ưu điểm có thể gồm:
- Điều chỉnh tốc độ linh hoạt.
- Dễ cân chỉnh airflow.
- Hiệu suất năng lượng tốt.
- Dễ tích hợp hệ thống điều khiển.
- Phù hợp cleanroom có số lượng FFU lớn.
So Sánh FFU U15 Motor AC Và EC
| Tiêu chí | Motor AC | Motor EC |
|---|---|---|
| Điều chỉnh tốc độ | Tùy cấu hình | Thường linh hoạt hơn |
| Điều khiển tập trung | Tùy model | Phù hợp nhiều hệ thống hiện đại |
| Hiệu suất năng lượng | Phụ thuộc điểm vận hành | Có thể tối ưu hơn |
| Ứng dụng hệ thống lớn | Có thể | Thường thuận tiện hơn |
FFU U15 Điều Khiển Tập Trung
Đối với cleanroom sử dụng hàng trăm hoặc hàng nghìn FFU, hệ thống điều khiển tập trung giúp vận hành hiệu quả hơn.
Các chức năng có thể gồm:
- Bật/tắt FFU.
- Điều chỉnh tốc độ.
- Phân vùng.
- Quản lý nhóm.
- Giám sát trạng thái.
- Cảnh báo lỗi tùy cấu hình.
- Hỗ trợ cân chỉnh airflow.
Kích Thước FFU U15
FFU U15 có thể được cung cấp theo nhiều kích thước tùy hệ trần và dự án.
Các nhóm kích thước danh nghĩa thường gặp:
- 2 × 2 ft.
- 2 × 3 ft.
- 2 × 4 ft.
- Kích thước tùy chỉnh.
Khi đặt hàng nên xác nhận kích thước thực tế bằng mm.
FFU U15 2x2
FFU U15 2x2 có thể sử dụng trong:
- Mini-Environment.
- Clean Booth.
- Phòng thí nghiệm.
- Khu vực sạch cục bộ.
FFU U15 2x4
FFU U15 2x4 phù hợp với nhiều hệ thống cleanroom công nghiệp.
Cần xác nhận:
- Kích thước thực tế.
- Lưu lượng.
- Kích thước ULPA.
- Chênh áp.
- Kích thước ô trần.
- Tải trọng trần.
FFU U15 Vỏ Inox
FFU U15 vỏ inox có thể được lựa chọn trong:
- Khu vực yêu cầu vật liệu cao.
- Môi trường cần vệ sinh thường xuyên.
- Môi trường có độ ẩm cao.
- Một số ứng dụng công nghệ đặc biệt.
Loại inox cần được xác định theo yêu cầu kỹ thuật của dự án.
Độ Ồn FFU U15
Độ ồn phụ thuộc vào:
- Thiết kế quạt.
- Motor.
- Tốc độ vận hành.
- Lưu lượng.
- Chênh áp U15.
- Kết cấu housing.
- Số lượng FFU hoạt động đồng thời.
Độ Rung FFU U15
Độ rung cần được đặc biệt quan tâm trong:
- Semiconductor.
- Microelectronics.
- Quang học chính xác.
- Thiết bị đo.
- Sản xuất linh kiện nhạy rung.
FFU U15 Gel Seal
Một số hệ thống FFU U15 sử dụng Gel Seal để tăng độ kín giữa filter và housing.
Cần xác định:
- Rãnh gel.
- Knife edge.
- Kích thước filter.
- Chiều sâu filter.
- Housing tương thích.
FFU U15 Gasket Seal
Gasket Seal sử dụng gioăng để tạo kín giữa ULPA và housing.
Khi bảo trì cần kiểm tra:
- Tình trạng gasket.
- Độ nén.
- Lão hóa.
- Khe hở.
Bypass Trong FFU U15
Bypass là hiện tượng không khí đi vòng qua filter thay vì đi xuyên qua ULPA U15.
Nguyên nhân có thể gồm:
- Filter sai kích thước.
- Gasket hỏng.
- Gel Seal không kín.
- Housing bị biến dạng.
- Lắp filter không đúng.
Kiểm Tra Integrity FFU U15
Đối với cleanroom yêu cầu cao, bộ lọc U15 có thể cần kiểm tra integrity sau lắp đặt và theo chu kỳ phù hợp.
Mục đích kiểm tra:
- Phát hiện rò media.
- Phát hiện rò tại khung.
- Phát hiện rò tại seal.
- Phát hiện lỗi lắp đặt.
Khi Nào Cần Thay ULPA U15?
Không có một chu kỳ cố định áp dụng cho mọi cleanroom.
Nên đánh giá thay khi:
- Chênh áp tăng cao.
- Lưu lượng giảm.
- Không đạt vận tốc mặt.
- Media hoặc khung bị hư hỏng.
- Integrity test không đạt.
- Đến kỳ thay theo SOP của cơ sở.
ULPA U15 Có Giặt Được Không?
Không nên giặt bộ lọc ULPA U15 thông thường.
Không nên:
- Rửa bằng nước.
- Thổi khí nén áp lực cao.
- Chà xát media.
- Sử dụng hóa chất không phù hợp.
Khi filter không còn đáp ứng yêu cầu kỹ thuật, giải pháp thông thường là thay mới.
FFU U15 Có Cần Pre Filter Không?
Tùy thiết kế của hệ thống.
Pre Filter có thể giúp:
- Giảm tải bụi cho ULPA.
- Làm chậm tốc độ tăng chênh áp.
- Kéo dài thời gian sử dụng filter cuối.
Tiền lọc có thể được bố trí tại AHU, MAU hoặc hệ thống cấp khí trước FFU.
FFU U15 Và AHU Khác Nhau Như Thế Nào?
| Tiêu chí | FFU U15 | AHU |
|---|---|---|
| Chức năng chính | Quạt + ULPA tại điểm sử dụng | Xử lý không khí trung tâm |
| Vị trí | Thường trên trần cleanroom | Phòng máy/khu kỹ thuật |
| Xử lý nhiệt độ | Không phải chức năng chính | Thường có |
| Xử lý độ ẩm | Không phải chức năng chính | Có thể có |
| Lọc cuối | ULPA U15 tích hợp | Tùy thiết kế |
FFU U15 Có Thay AHU Được Không?
Không. FFU U15 và AHU có chức năng khác nhau.
AHU thường đảm nhiệm:
- Xử lý nhiệt độ.
- Xử lý độ ẩm.
- Gió tươi.
- Tiền lọc.
- Xử lý tải nhiệt.
FFU U15 chủ yếu tạo lưu lượng qua ULPA U15 và cung cấp khí sạch tại khu vực sử dụng.
Cách Chọn FFU U15
- Xác định cấp sạch mục tiêu.
- Xác nhận yêu cầu sử dụng ULPA U15.
- Xác định kích thước FFU.
- Xác định lưu lượng.
- Kiểm tra chênh áp filter.
- Chọn motor AC hoặc EC.
- Xác định độ ồn.
- Xác định yêu cầu độ rung.
- Chọn vật liệu housing.
- Xác định điện áp.
- Xác định phương thức điều khiển.
- Xác định loại seal.
- Xác định yêu cầu integrity test.
Thông Số Cần Cung Cấp Khi Mua FFU U15
| Thông số | Nội dung cần cung cấp |
|---|---|
| Kích thước | Rộng × Dài × Cao |
| Lưu lượng | m³/h hoặc CFM |
| Cấp lọc | ULPA U15 |
| Chênh áp | Pa nếu có yêu cầu |
| Motor | AC / EC |
| Điện áp | Theo hệ thống |
| Vật liệu vỏ | Sơn tĩnh điện / Inox / Theo yêu cầu |
| Điều khiển | Cục bộ / Nhóm / Tập trung |
| Seal | Gasket / Gel Seal |
| Số lượng | Theo dự án |
FFU U15 Theo Kích Thước
VIETPHAT hỗ trợ cung cấp FFU U15 theo nhiều kích thước và cấu hình phù hợp với hệ thống trần cleanroom.
Có thể lựa chọn:
- Chiều rộng.
- Chiều dài.
- Chiều cao.
- Kích thước ULPA.
- Lưu lượng.
- Motor.
- Vật liệu vỏ.
- Phương thức điều khiển.
FFU U15 Theo Yêu Cầu
Các thông số có thể tùy chỉnh:
- Kích thước.
- Lưu lượng.
- ULPA U15.
- Chênh áp.
- Motor AC/EC.
- Điện áp.
- Vật liệu housing.
- Độ ồn.
- Độ rung.
- Điều khiển.
- Truyền thông.
- Gasket Seal hoặc Gel Seal.
Giá FFU U15
Giá FFU U15 phụ thuộc vào cấu hình và yêu cầu kỹ thuật.
Các yếu tố ảnh hưởng gồm:
- Kích thước.
- Lưu lượng.
- Bộ lọc U15.
- Chênh áp filter.
- Motor AC/EC.
- Vật liệu vỏ.
- Bộ điều khiển.
- Loại seal.
- Số lượng.
- Yêu cầu kiểm tra.
- Yêu cầu kỹ thuật đặc biệt.
Báo Giá FFU U15
Để nhận báo giá chính xác, khách hàng nên cung cấp:
- Kích thước FFU.
- Lưu lượng.
- Yêu cầu ULPA U15.
- Chênh áp nếu có.
- Motor AC hoặc EC.
- Điện áp.
- Vật liệu vỏ.
- Phương thức điều khiển.
- Loại seal.
- Số lượng.
- Datasheet hoặc hình ảnh nếu thay thế thiết bị cũ.
Tại Sao Hai FFU U15 Có Giá Khác Nhau?
Cùng sử dụng ULPA U15 nhưng hai thiết bị vẫn có thể khác nhau đáng kể về:
- Kích thước.
- Lưu lượng.
- Chênh áp.
- Diện tích media.
- Motor.
- Công suất.
- Độ ồn.
- Độ rung.
- Vật liệu housing.
- Phương thức điều khiển.
- Loại seal.
- Yêu cầu test.
Do đó, khi so sánh báo giá cần so sánh cùng cấu hình kỹ thuật.
Những Sai Lầm Khi Chọn FFU U15
- Chọn U15 khi hệ thống không yêu cầu.
- Chỉ chọn theo kích thước.
- Không xác định lưu lượng.
- Không kiểm tra chênh áp.
- Không kiểm tra khả năng của quạt.
- Không quan tâm độ rung.
- Không quan tâm độ ồn.
- Không xác định loại seal.
- Không kiểm tra kích thước ô trần.
- Không tính điện năng vận hành.
- Chỉ lựa chọn theo giá thấp nhất.
VIETPHAT – Nhà Cung Cấp FFU U15
CÔNG TY CỔ PHẦN KỸ THUẬT VIỆT PHÁT – VIETPHAT cung cấp FFU U15 và các giải pháp lọc khí cho các hệ thống phòng sạch yêu cầu kiểm soát hạt cao.
Danh mục có thể gồm:
- FFU U15.
- FFU ULPA U15.
- Fan Filter Unit U15.
- FFU phòng sạch U15.
- FFU Cleanroom U15.
- FFU U15 bán dẫn.
- FFU U15 Microelectronics.
- FFU U15 motor AC.
- FFU U15 motor EC.
- FFU U15 vỏ inox.
- FFU U15 Gel Seal.
- FFU U15 Gasket Seal.
- FFU U15 điều khiển tập trung.
- ULPA U15 thay thế cho FFU.
- FFU U15 theo kích thước.
- FFU U15 theo yêu cầu.
Câu Hỏi Thường Gặp Về FFU U15
FFU U15 là gì?
FFU U15 là Fan Filter Unit tích hợp quạt và bộ lọc ULPA cấp U15 để cung cấp khí sạch cho các cleanroom yêu cầu kiểm soát hạt rất cao.
FFU U15 dùng cho phòng sạch nào?
FFU U15 thường được cân nhắc cho bán dẫn, vi điện tử, mini-environment, quang học chính xác và các khu vực có yêu cầu kiểm soát hạt nghiêm ngặt.
FFU U15 và H14 khác nhau thế nào?
H14 thuộc nhóm HEPA, còn U15 thuộc nhóm ULPA và có cấp hiệu suất cao hơn theo hệ thống phân loại tương ứng.
FFU U15 có dùng motor EC không?
Có. Motor EC thường phù hợp với các hệ thống cần điều chỉnh tốc độ linh hoạt và tối ưu năng lượng.
FFU U15 có điều khiển tập trung được không?
Nhiều cấu hình hỗ trợ điều khiển theo nhóm hoặc tập trung tùy model.
ULPA U15 trong FFU có thay riêng được không?
Trong nhiều thiết kế có thể thay riêng U15 nếu housing, quạt, motor và hệ thống điều khiển vẫn hoạt động phù hợp.
ULPA U15 có giặt được không?
ULPA U15 thông thường không nên giặt, rửa bằng nước hoặc vệ sinh bằng khí nén áp lực cao.
FFU U15 có làm theo kích thước không?
Có thể cung cấp theo nhiều kích thước và cấu hình phù hợp với yêu cầu dự án.
FFU U15 có dùng cho bán dẫn không?
Có. Đây là một trong những ứng dụng quan trọng của FFU ULPA U15.
FFU U15 giá bao nhiêu?
Giá phụ thuộc vào kích thước, lưu lượng, chênh áp, motor, vật liệu vỏ, điều khiển, seal và số lượng.
Liên Hệ Mua FFU U15
Quý khách cần FFU U15, FFU ULPA U15, Fan Filter Unit U15, FFU bán dẫn, FFU motor EC hoặc ULPA U15 thay thế cho FFU, vui lòng liên hệ:
CÔNG TY CỔ PHẦN KỸ THUẬT VIỆT PHÁT – VIETPHAT
- Zalo: 0971 344 344
- Nhân viên phục vụ 24/7: 0827 077 078
- Nhân viên phục vụ 24/7: 0829 077 078
- Tổng đài 24/7: 0971 344 344
- Email báo giá: sales@vietphat.com
- Website: www.vietphat.com
- Giao hàng: Giao hàng tận nơi
Kết Luận
FFU U15 là Fan Filter Unit sử dụng bộ lọc ULPA U15, phù hợp với các hệ thống cleanroom yêu cầu kiểm soát hạt rất cao như bán dẫn, microelectronics, mini-environment và quang học chính xác.
Khi lựa chọn FFU U15 cần xem xét đồng thời kích thước, lưu lượng, chênh áp ULPA, motor AC/EC, độ ồn, độ rung, vật liệu housing, phương thức điều khiển và loại seal. Cùng là U15 nhưng hai thiết bị có thể có đặc tính vận hành rất khác nhau.
Không nên lựa chọn U15 chỉ vì đây là cấp lọc cao hơn H14. Việc lựa chọn phải căn cứ vào cấp sạch, tiêu chuẩn, yêu cầu công nghệ, khả năng của quạt và chi phí vòng đời của hệ thống.
VIETPHAT cung cấp FFU U15 với nhiều kích thước, lưu lượng và cấu hình theo yêu cầu, phục vụ nhà máy bán dẫn, điện tử chính xác, vi điện tử, phòng thí nghiệm và nhiều hệ thống cleanroom công nghệ cao.