VariSorb CE

Đặc điểm nổi bật:

• Phù hợp với môi trường phòng sạch.
• Phương tiện lọc nhiều lớp, phù hợp với một hoặc nhiều loại khí.
• Công suất hấp thụ cao, hiệu suất loại bỏ hiệu quả.
• Không tạo bụi và không phát sinh khí phụ (out-gassing).
• Dễ dàng lắp đặt, tiết kiệm năng lượng.
• Áp suất giảm thấp.
• Đạt tiêu chuẩn ISO Class 6 về độ sạch.
• Hạt carbon nhỏ được nhúng giữa hai lớp sợi tổng hợp không dệt.

ỨNG DỤNG ĐIỂN HÌNH

• Lắp ráp linh kiện vi điện tử.
• Sản xuất TFT/LCD.
• Sản xuất LTPS OLED.
• Sản xuất wafer.

LỢI ÍCH & ĐẶC ĐIỂM

Hiệu suất vượt trội

• VariSorb CE là giải pháp tối ưu cho việc lọc chất ô nhiễm phân tử (AMC) tại đầu cuối trong phòng sạch.
• Sử dụng cùng với Fan Filter Unit (FFU), Equipment Fan Filter Unit (EFU) và các thiết bị khác để giảm nồng độ AMC, đảm bảo môi trường đạt yêu cầu quy trình.
• Bảo vệ quy trình và sản phẩm khỏi ảnh hưởng của các chất ô nhiễm phân tử.
• Hiệu suất loại bỏ xuất sắc ngay cả ở điều kiện nồng độ thấp, tạo môi trường siêu sạch ở mức ppb.

Cấu trúc

• Bộ lọc VariSorb CE có vách lọc bằng kim loại, kết cấu chắc chắn, dễ dàng lắp đặt linh hoạt trên hoặc dưới FFU/EFU.
• Thiết kế không phát sinh khí phụ, đảm bảo đáp ứng yêu cầu môi trường phòng sạch.

Phương tiện lọc

• Bộ lọc sử dụng phương tiện nhiều lớp gồm:
  • Carbon hoạt tính,
  • Carbon tẩm hóa chất,
  • Nhựa trao đổi ion (IER),
    được kẹp giữa các lớp sợi tổng hợp không dệt.
• Vật liệu lọc mịn và nhỏ hơn, tối ưu quá trình tiếp xúc với AMC, mang lại tốc độ loại bỏ nhanh hơn.
• Có thể cấu hình từ 1-3 lớp phương tiện giống hoặc khác nhau để đạt hiệu quả cao hơn.
• Thiết kế đa lớp cho phép loại bỏ nhiều loại khí trong cùng một bộ lọc.