Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử

Thứ Hai, 24/03/2025

Lê Ngân

Kích thước chữ

Mặc định

Lớn hơn

1. Hộp lọc khí gió cấp cho khu vi điện tử

Hộp lọc khí gió cấp là một thiết bị lọc không khí chuyên dụng được lắp đặt tại đầu cuối hệ thống cấp khí sạch trong các phòng sản xuất vi điện tử (cleanroom for semiconductor). Thiết bị này chịu trách nhiệm lọc sạch bụi siêu mịn, vi khuẩn, ion, và các tạp chất lơ lửng trong không khí trước khi khí được phân phối vào khu vực sản xuất vi mạch.

Đây là thiết bị không thể thiếu trong các cleanroom cấp độ ISO 4 – ISO 6, nơi yêu cầu số lượng hạt bụi siêu nhỏ ở mức cực kỳ thấp.

2. Cấu tạo hộp lọc khí gió cấp

Một hộp lọc khí chuẩn dùng trong khu sản xuất vi điện tử có cấu tạo gồm:

Vỏ hộp (Housing):
Làm từ inox 304, thép sơn tĩnh điện hoặc nhôm anod hóa, có khả năng chống ăn mòn, chống bám bụi, chống tĩnh điện.
Bộ lọc HEPA/ULPA (HEPA H13–H14 hoặc ULPA U15–U17):
Lõi lọc chính trong hộp, dùng để lọc bụi mịn kích thước <0.3 micron với hiệu suất lên đến 99.999%.
Lưới khuếch tán (Diffuser):
Giúp phân phối dòng khí đồng đều, tránh tạo vùng nhiễu loạn trong phòng sạch.
Cửa bảo trì / khay trượt:
Dễ dàng thay thế lõi lọc mà không cần tháo dỡ toàn bộ hộp.
Ron cao su kín khí:
Ngăn rò rỉ khí, giữ độ sạch ổn định trong không gian sản xuất.
Tùy chọn tích hợp thêm:
- Đồng hồ chênh áp (Pressure gauge)
- Van điều chỉnh lưu lượng
- Bộ lọc than hoạt tính (nếu cần xử lý khí VOCs)

3. Thông số kỹ thuật tham khảo

Hạng mục	Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn
Kích thước hộp	600x600mm, 610x610mm, hoặc tùy chỉnh theo AHU
Vật liệu vỏ	Inox 304 / Thép sơn tĩnh điện / Nhôm anod hóa
Cấp độ lọc	HEPA H13–H14 / ULPA U15–U17
Hiệu suất lọc	≥ 99.99% @ 0.3 micron (H14), ≥ 99.9995% (U15)
Lưu lượng gió	500 – 1500 m³/h
Áp suất kháng	220 – 450 Pa
Tùy chọn thêm	Áp kế, van chỉnh gió, màng chống khuẩn, lưới HPL

4. Nguyên lý hoạt động

Không khí sạch được cấp từ hệ thống AHU hoặc FFU qua các ống gió.
Không khí đi qua bộ lọc HEPA/ULPA bên trong hộp lọc.
Các hạt bụi mịn, vi khuẩn, ion kim loại, hoặc tạp chất bị giữ lại.
Luồng khí sạch và ổn định được phân phối đều vào khu sản xuất qua lưới khuếch tán.
Đảm bảo môi trường làm việc đạt chuẩn ISO Class 4–6 trong sản xuất bán dẫn, LCD, IC, chipset,...

5. Ứng dụng của hộp lọc khí gió cấp

🔹 Khu sản xuất vi điện tử, bán dẫn (semiconductor):
Đảm bảo không khí cực sạch để tránh lỗi vi mạch.
🔹 Nhà máy sản xuất LCD, LED, màn hình cảm ứng.
🔹 Phòng sạch sản xuất pin năng lượng mặt trời, linh kiện điện tử.
🔹 Phòng thí nghiệm chuẩn quốc gia, R&D vi mạch.
🔹 Phòng sạch Class 100 – Class 1.000 (ISO 4 – ISO 6).

6. Ưu điểm

✔️ Hiệu suất lọc cực cao (HEPA/ULPA)
✔️ Giữ ổn định độ sạch trong thời gian dài
✔️ Kết cấu chắc chắn, không rò rỉ khí
✔️ Tùy chỉnh linh hoạt về kích thước, lưu lượng, áp suất
✔️ Tích hợp dễ dàng vào hệ thống AHU/FFU

7. Nhược điểm

❌ Giá thành tương đối cao do yêu cầu kỹ thuật nghiêm ngặt
❌ Cần thay lõi lọc định kỳ theo chu kỳ sử dụng
❌ Việc bảo trì đòi hỏi kỹ thuật viên có chuyên môn cao
❌ Cần đảm bảo độ kín tuyệt đối, nếu không hiệu quả lọc sẽ giảm

8. Tóm tắt

Nội dung	Tóm lược
Tên thiết bị	Hộp lọc khí gió cấp (Supply Air Filter Box)
Ứng dụng	Phòng sạch vi điện tử, LCD, IC, bán dẫn
Bộ lọc chính	HEPA/ULPA – hiệu suất ≥99.99%
Vật liệu vỏ	Inox, nhôm, thép sơn tĩnh điện
Lưu lượng	500 – 1500 m³/h
Ưu điểm	Lọc siêu sạch, độ bền cao, kiểm soát ô nhiễm
Nhược điểm	Giá thành, cần kỹ thuật bảo trì chuyên sâu

9. Mua hộp lọc khí gió cấp ở đâu uy tín?

Nếu bạn đang tìm kiếm hộp lọc khí gió cấp chuẩn HEPA/ULPA chuyên dùng cho khu sản xuất vi điện tử, hãy liên hệ ngay với VIETPHAT – Đối tác tin cậy của hàng trăm dự án phòng sạch tại Việt Nam.

📞 Thông tin liên hệ:

Liên hệ ngay để nhận báo giá:

📱Hotline: 0971.344.344
📞Miền Nam: 0827.077.078
📞Miền Bắc: 0829.077.078
📧Email: sales@vietphat.com
🌐Website: https://vietphat.com/

Với phương châm "Chất lượng – Hiệu quả – Bền vững", VIETPHAT cam kết mang đến các giải pháp lọc khí tiên tiến, giúp khách hàng nâng cao chất lượng không khí và tối ưu chi phí vận hành.

Từ khóa: Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử, Hộp lọc khí gió cấp cho khu sản xuất vi điện tử